Алуминијумски приступни подови за полупроводничке чисте собе: решење за подове високе прецизности за производњу без прашине

Предговор

Радионице за производњу полупроводника, чипова и прецизне производње микроелектронике су висококвалитетни чисти простори са строгим захтевима за отпорност на подну прашину, статичку дисипацију, носивост, организацију протока ваздуха и тачност димензија. Традиционални челични и композитни подови су склони рђењу, осипању праха и великим толеранцијама димензија, не испуњавајући дугорочне производне захтеве чистих просторија класе 100 / класе 1000. Дие-цаст Алуминијумски приступни под има интегрисану технологију обликовања, ултра тесне толеранције димензија, стабилне проводне перформансе статичке дисипације и отпорност на корозију са нултим стварањем прашине, што га чини главним системом подних облога за полупроводничке чисте собе, фотолитографске просторе и објекте за тестирање чипова.

Комбиновањем техничких параметара професионалних произвођача као нпр Хуилиан , овај чланак елаборира основне перформансе, избор модела носивости, вредност примене и практичне предности алуминијумских приступних подова за окружења чистих соба.

Обавезна мерила перформанси за приступне подове у чистим просторијама полупроводника

Статички електрицитет може довести до кратког споја плочица и узроковати распадање производа, док дифузионе пећи, машине за литографију и опрема за инспекцију носе значајну тежину. Подови морају истовремено задовољити три основна захтева: статичку контролу, повратну циркулацију ваздуха и лежај без прашине. Четири критична стандарда индустрије су наведена у наставку:

Статичке проводне и дисипативне перформансе

Статички електрицитет може кратко спојити чипове и учинити плочице неисправним. Подови морају одржавати стабилан опсег отпора проводљивости са брзим статичким опадањем како би се обезбедио непрекидан рад опреме 24/7 без електростатичких сметњи.

Ултра-уске димензионалне толеранције

Прекомерни размаци између подних панела акумулирају прашину и ометају ламинарни проток ваздуха. Строга контрола дужине/ширине панела, равности и дијагоналних толеранција осигурава чврсте шавове без пукотина за хватање прашине.

Вишеслојна структура са тешким оптерећењем

Алати за литографију, сонде и тешка опрема за паковање намећу интензивна концентрисана оптерећења, док се радионичка транспортна колица непрекидно котрљају по подовима. Оцене концентрисаног оптерећења, униформног оптерећења и крајње чврстоће морају одговарати тежини опреме са ограниченим дуготрајним отклоном.

Особине без прашине и отпорне на корозију

Производно окружење карактерише слабе киселине, средства за чишћење и висока влажност. Подови морају бити отпорни на оксидацију, рђу и хабање површине, са непорозном површином која је компатибилна са рутинским брисањем без прашине и усисивачем.

Алуминијумски подови: универзални уређај направљен за чисто окружење

Када се упореди са челика, калцијум сулфат и други материјали за подове, физичка својства алуминијумских подних облога савршено решавају горње болне тачке.

1. Нулто стварање прашине: класа А1 отпорности на ватру и трајна превенција рђе

Алуминијумски подови се производе помоћу интегрисаног ливења под високим притиском, што даје инхерентно густу, непорозну подлогу.

•  Без рђе и радијације : Алуминијум је природно отпоран на оксидацију. За разлику од челичних подова, никада не рђа и не одбацује загађиваче честица гвожђа, у складу са стандардима чистих просторија без загађења и радијације.

•  Супериорна противпожарна безбедност : класа А1 незапаљивости по ГБ/Т 8624, не емитује токсичне паре под високим температурама ради заштите производних линија високе вредности.

2. Прецизно управљање протоком ваздуха: алуминијумске плоче са саћем и рендане плоче

За зоне повратка или довода ваздуха, алуминијумски под нуди више опција перфорације за стабилизацију ламинарног протока ваздуха:

•  Алуминијумске плоче са саћем :

Стандардне стопе отварања од 17%, 22% и 25% (подесиво од 10% до 25%). Порозна структура пружа минималан отпор ветра и равномеран проток ваздуха, идеалан за већину зона са контролом температуре и влажности.

• Алуминијумске решетке :

До 50% стопе отварања са решеткастим површинама са прорезима, дизајнираним за опрему високе густине топлоте, као што су литографске машине које захтевају робусну вентилацију за одвод топлоте.

Предност прецизности :

Димензије контролне табле калупа за ливење високе прецизности на 600+0,00мм/600-0,20мм са толеранцијом равности од ±0,20мм. Чврсти шавови елиминишу турбулентан проток ваздуха и накупљање прашине.

3. Екстремно оптерећење и ултра-лагана тежина

Чисте собе садрже тешку опрему од више тона, као што су алати за литографију.

Висок капацитет оптерећења :

Чврсти алуминијумски слепи панели чине темељну језгру алуминијумских приступних подних система. За разлику од саћастих и ренданих панела, чврсти слепи панели имају потпуно густо тело од ливеног алуминијума без перфорација. Они дају приоритет носивости, потискивању прашине, статичкој дисипацији и просторном преграђивању. Слепи панели Хуилиан ХЛС серије испоручују концентрисана оптерећења која прелазе 3000 кгф (ХЛС3000) са крајњом чврстоћом од 6000 кгф и угибом ограниченим на ≤2,0 мм, подржавајући тешке машине без трајне деформације.

 Лагана структура :

Алуминијум има само 1/3 густине челика. Систем подних облога мале тежине смањује структурно оптерећење грађевинских плоча, што га чини идеалним за фабричку реконструкцију и изградњу чистих соба на горњим спратовима.

4. ЕСД статичка дисипација и прилагодљиве површинске облоге

Проводни основни материјал:

Проводне заптивке успостављају континуирани електрични контакт између панела и постоља. Алуминијум је немагнетни и не омета прецизна магнетна поља.

Опције површинског покривача:

ЕСД проводљив ПВЦ или високо хабајући ХПЛ облоге су доступне у више узорака и боја. ПВЦ премази отпорни су на хемијску корозију и подносе поновљено чишћење детерџентима за радионице.

5. Прилагођене пратеће функције

• Прилагођене стопе перфорације за вентилисане панеле формирају пленуме за довод ваздуха испод пода, стабилизујући температуру и влажност чисте просторије док смањују потрошњу енергије за хлађење опреме.

• Специјални површински третмани укључујући никл-хром галванизацију и проводљиве епоксидне премазе пружају отпорност на слабе киселине, алкалије и често дезинфекционо чишћење.

• 100% алуминијумски материјал који се може рециклирати испуњава зелене стандарде ниске емисије угљеника и захтеве еколошке процене за фабрике полупроводника.

6. Напредно прилагођавање: визуелни преглед и дугорочна поновна употреба

Модерни алуминијумски подни системи нуде врхунске надоградње прилагођене захтевима паметне фабрике:

• Алуминијумски панели за приказ:

Квадратни изрези прекривени провидном акрилном фолијом интегрисани у слепе панеле, омогућавајући визуелну инспекцију подних цевовода без уклањања панела како би се поједноставило одржавање.

• Исплативост целог животног циклуса:

Док алуминијумски подови имају већу почетну цену од челичних (отприлике 2-3 пута), он се може похвалити веком трајања који прелази 20 година уз мало одржавања без корозије. Материјал који се у потпуности може рециклирати смањује укупне трошкове власништва (ТЦО) за дугорочне власнике имовине полупроводничких постројења.

Пет основних предности алуминијумских приступних подова за чисте собе полупроводника

1. Без прашина и врхунска чистоћа за повећање приноса вафла

Интегрисани алуминијумски панели од ливеног под притиском имају не-капиларно густе површине. Галванизовани или епоксидни премази отпорни су на абразију и љуштење, елиминишући металну прашину и остатке који загађују ваздух у радионици. За разлику од челичних подова који су склони рђи и композитних подова склоних површинском љуштењу, алуминијумски подови доследно одржавају стандарде за чисте собе класе 100 / класе 1000, смањујући дефекте честица на плочицама и значајно побољшавајући принос производње. Ултра чврсте толеранције димензија минимизирају празнине у шавовима панела како би се елиминисале пукотине које задржавају прашину; Рутинско одржавање захтева само усисавање без прашине и неутрално мокро брисање да би се одржала усклађеност чисте собе.

2. Трајна статичка дисипација елиминише ризик од електростатичког квара плочице

Алуминијумска подлога сама по себи проводи електричну енергију, елиминишући потребу за додатним проводљивим лепљивим тракама. Панели, постоља и решетке за уземљење чине комплетан проводни пут. Статички набој се распршује од 5000В до 0В за мање од 0,2 секунде, брзо пражњејући статику коју стварају особље и опрема. Систем је у складу са СЕМИ и ГБ/Т36340 стандардима за статичку контролу полупроводника, спречавајући електростатичко оштећење прецизних плочица и тест чипова.

3. Подни пленуми интегришу поврат ваздуха и каблове за оптимизацију чистог протока ваздуха

Подна шупљина алуминијумских приступних подова функционише као доводни и повратни простор подног ваздуха. Упарен са прилагођеним вентилисаним панелима, ствара уједначен ламинарни проток ваздуха, стабилизујући унутрашњу температуру и влажност док елиминише топле и хладне зоне. Шупљина сакрива каблове за напајање, вакуумске цевоводе и расхладне водове без копања тла. Реконфигурација производне линије или надоградња опреме захтевају само делимично уклањање панела преко усисних чаша, избегавајући оштећење подова чистих просторија и драстично скраћујући време застоја у производњи ради реновирања.

4. Отпорност на влагу и корозију смањује дугорочне трошкове одржавања

Алуминијум је природно отпоран на оксидацију и рђу. У окружењима са високом влажношћу са слабим корозивним хемикалијама из процеса чишћења полупроводника, избегава испупчење рђе и љуштење боје уобичајено за челичне подове. Са животним веком од 15–20 година, захтева само једноставно усисавање без честе замене или реновирања, пружајући далеко ниже дугорочне инвестиције у одржавање од алтернативних материјала за подигнуте подове.

Водич за избор по зонама за алуминијумске подове за чисте собе

Одговарајућа конфигурациона табела за алуминијумске приступне подове по функционалним зонама чистих соба

Мешовита стратегија поплочавања препоручује се за различите функционалне области радионица за полупроводнике, на основу Хуилиан-ових званичних техничких параметара:

Спецификације за рутинско одржавање алуминијумских подова за чисте просторије

1. Користите усисиваче без прашине за свакодневно хемијско чишћење; Четке са тврдим влакнима су забрањене да би се избегло гребање површине.

2. Обришите површине неутралним наменским средствима за чишћење чистих соба; јаке киселине и алкалије се не смеју користити за спречавање корозије проводних облога.

3. Подесите подно постоље квартално да бисте калибрирали укупну равност и елиминисали неравне ивице панела.

4. Дубоко чистите перфориране вентилисане панеле сваких шест месеци да бисте уклонили накупљање прашине и гарантовали несметану циркулацију ваздуха.

5. Забртвите шавове панела одмах након реновирања опреме или одржавања цевовода како бисте спречили инфилтрацију честица у подне шупљине.

Закључак

Подни системи у полупроводничким чистим просторијама директно утичу на принос производње, безбедност опреме и дугорочне оперативне трошкове. Алуминијумски приступни подови пружају ултра-прецизну контролу димензија, степеновану носивост, стабилно расипање статичког електрицитета без прашине, отпорност на корозију и продужени радни век, у потпуности испуњавајући строге стандарде конструкције у радионицама за микроелектронику класе 100/класе 1000.

Пуна серија алуминијумских приступних подова компаније Хуилиан је коришћена у познатим глобалним пројектима микроелектронике, укључујући Нантонг Фујитсу, Тхаиланд МЦНЕКС и Малаисиа Тонгфу Мицроелецтроницс, постајући стандардно подно решење за хигх-енд изградња чистих просторија.

Доступно је прилагођавање стопе вентилације, површинских премаза и димензија панела. Пружамо решења са подигнутим подом на једном месту за производњу чипова, паковање и тестирање и чисте собе за прецизну електронику, у потпуности задовољавајући захтеве треће стране за прихватање изградње чистих просторија, процену животне средине и статичку контролу.

Контактирајте нас да добијете комплетне планове изградње и тачне понуде за пројекте чистих соба.