Alumīnija piekļuves grīdas pusvadītāju tīrām telpām: augstas precizitātes grīdas seguma risinājums ražošanai bez putekļiem

Priekšvārds

Pusvadītāju, mikroshēmu iepakošanas un mikroelektronikas precīzās ražošanas darbnīcas ir augstas kvalitātes tīras telpas ar stingrām prasībām attiecībā uz grīdas putekļu izturību, statisko izkliedi, slodzes nestspēju, gaisa plūsmas organizēšanu un izmēru precizitāti. Tradicionālie tērauda un kompozītmateriālu grīdas segumi ir pakļauti rūsēšanai, pulvera izkliedēšanai un lielām izmēru pielaidēm, kas neatbilst 100./1000. klases tīro telpu ilgtermiņa ražošanas prasībām. Lietie alumīnija piekļuves grīdas segumam ir integrēta liešanas tehnoloģija, īpaši stingras izmēru pielaides, stabila vadoša statiskā izkliede un izturība pret koroziju bez putekļu veidošanās, padarot to par galveno grīdas segumu sistēmu pusvadītāju tīrām telpām, fotolitogrāfijas nodalījumiem un mikroshēmu testēšanas iekārtām.

Apvienojot tehniskos parametrus no profesionāliem ražotājiem, piemēram, Huilian , šajā rakstā ir apskatīta alumīnija piekļuves grīdas seguma galvenā veiktspēja, nesošā modeļa izvēle, pielietojuma vērtība un praktiskās priekšrocības tīras telpas vidē.

Obligāti veiktspējas kritēriji piekļuves grīdai pusvadītāju tīrajās telpās

Statiskā elektrība var radīt īssavienojumu plāksnēs un izraisīt izstrādājuma iznīcināšanu, savukārt difūzijas krāsnīm, litogrāfijas iekārtām un pārbaudes iekārtām ir ievērojams svars. Grīdas segumam vienlaikus jāatbilst trim galvenajām prasībām: statiskā kontrole, gaisa atgriešanas cirkulācija un bezputekļu gultnis. Tālāk ir izklāstīti četri nozares kritiskie standarti.

Statiski vadītspējīga un izkliedējoša veiktspēja

Statiskā elektrība var izraisīt mikroshēmu īssavienojumu un padarīt plāksnes bojātas. Grīdas segumam jāsaglabā stabils vadošs pretestības diapazons ar strauju statisko samazināšanos, lai nodrošinātu nepārtrauktu iekārtas darbību 24/7 bez elektrostatiskajiem traucējumiem.

Īpaši stingras izmēru pielaides

Pārmērīgas spraugas starp grīdas paneļiem uzkrāj putekļus un traucē lamināro gaisa plūsmu. Stingra paneļa garuma/platuma, līdzenuma un diagonālās pielaides kontrole nodrošina stingras šuves bez putekļu uztveršanas plaisām.

Daudzpakāpju lielas slodzes struktūra

Litogrāfijas instrumenti, zondes stacijas un smagas iepakošanas iekārtas rada intensīvu koncentrētu punktveida slodzi, savukārt darbnīcu transporta ratiņi nepārtraukti ripo pa stāviem. Koncentrētai slodzei, vienmērīgai slodzei un maksimālās stiprības rādītājiem jāatbilst aprīkojuma svaram ar ierobežotu ilgtermiņa novirzi.

Pretputekļus un pret koroziju izturīgas īpašības

Ražošanas vidē ir vājas skābes, tīrīšanas līdzekļi un augsts mitrums. Grīdas segumam ir jābūt izturīgam pret oksidēšanu, rūsu un virsmas noberšanos, ar neporainu virsmu, kas ir saderīga ar parasto slaucīšanu bez putekļiem un putekļsūcēju.

Alumīnija grīdas segums: universāls, kas paredzēts tīrai videi

Ja salīdzina ar tērauda, kalcija sulfāts un citi grīdas seguma materiāli, alumīnija piekļuves grīdas seguma fizikālās īpašības lieliski atrisina iepriekš minētos sāpju punktus.

1. Nulles putekļu radīšana: A1 klases ugunsizturība un pastāvīga rūsas novēršana

Alumīnija grīdas segums tiek ražots, izmantojot augstspiediena integrētu spiedlējumu, tādējādi iegūstot raksturīgi blīvu, neporainu substrātu.

•  Bez rūsas un starojuma : alumīnijs dabiski iztur oksidāciju. Atšķirībā no tērauda grīdas seguma tā nekad nerūsē un neizdala dzelzs daļiņu piesārņotājus, kas atbilst nulles piesārņojuma un nulles starojuma tīrās telpas standartiem.

•  Izcila ugunsdrošība : A1 klases neuzliesmojošs vērtējums atbilstoši GB/T 8624, neizdala toksiskus izgarojumus augstas temperatūras negadījumos, lai aizsargātu augstvērtīgas ražošanas līnijas.

2. Precīza gaisa plūsmas vadība: alumīnija šūnveida paneļi un rīvēti paneļi

Gaisa atgriešanas vai padeves zonām alumīnija grīdas segums piedāvā vairākas perforācijas iespējas, lai stabilizētu lamināro gaisa plūsmu:

•  Alumīnija šūnveida paneļi :

Standarta atvēršanas likmes 17%, 22% un 25% (regulējams no 10% līdz 25%). Porainā struktūra nodrošina minimālu vēja pretestību un vienmērīgu gaisa plūsmu, kas ir ideāli piemērota lielākajai daļai temperatūras un mitruma kontrolētu zonu.

• Alumīnija rīvēti paneļi :

Atvēršanās ātrums līdz 50% ar rievotām režģu virsmām, kas paredzētas iekārtām ar augstu karstuma blīvumu, piemēram, litogrāfijas iekārtām, kurām nepieciešama spēcīga siltuma izplūdes ventilācija.

Precizitātes priekšrocības :

Augstas precizitātes liešanas veidņu vadības paneļa izmēri pie 600+0.00mm/600-0.20mm ar plakanuma pielaidēm ±0.20mm. Stingras šuves novērš turbulento gaisa plūsmu un putekļu uzkrāšanos.

3. Extreme Load Bearing & Ultra-Light Weight

Tīrajās telpās atrodas smags vairāku tonnu aprīkojums, piemēram, litogrāfijas instrumenti.

Augsta kravnesība :

Cietie alumīnija žalūziju paneļi veido alumīnija piekļuves grīdas sistēmu pamatu. Atšķirībā no šūnveida un režģa paneļiem, cietajiem žalūziju paneļiem ir pilnībā blīvs preslieta alumīnija korpuss bez perforācijām. Tie piešķir prioritāti slodzei, putekļu slāpēšanai, statiskajai izkliedēšanai un telpiskajai sadalīšanai. Huilian HLS sērijas žalūzijas paneļi nodrošina koncentrētu slodzi, kas pārsniedz 3000 kgf (HLS3000), ar maksimālo izturību 6000 kgf un novirzi līdz ≤ 2,0 mm, atbalstot smago tehniku ​​bez paliekošas deformācijas.

 Viegla struktūra :

Alumīnija blīvums ir tikai 1/3 no tērauda blīvuma. Mazsvara grīdas seguma sistēma samazina konstrukcijas slodzi uz ēku plātnēm, padarot to ideāli piemērotu rūpnīcas modernizācijai un augšējo stāvu tīro telpu celtniecībai.

4. ESD statiskā izkliede un pielāgojami virsmas pārklājumi

Vadītspējīgs pamatmateriāls:

Vadītspējīgas blīves nodrošina nepārtrauktu elektrisko kontaktu starp paneļiem un pjedestāliem. Alumīnijs nav magnētisks un netraucē precīziem magnētiskajiem laukiem.

Virsmas pārklājuma iespējas:

ESD vadošs PVC vai augsta nodiluma HPL pārklājumi ir pieejami vairākos modeļos un krāsās. PVC pārklājumi ir izturīgi pret ķīmisko koroziju un iztur atkārtotu tīrīšanu ar darbnīcas mazgāšanas līdzekļiem.

5. Pielāgotas atbalsta funkcijas

• Pielāgotas perforācijas pakāpes ventilējamiem paneļiem veido zemgrīdas gaisa padeves atveres, stabilizējot tīras telpas temperatūru un mitrumu, vienlaikus samazinot aprīkojuma dzesēšanas enerģijas patēriņu.

• Īpaša virsmas apstrāde, tostarp niķeļa-hroma galvanizācija un vadošie epoksīda pārklājumi, nodrošina izturību pret vājām skābēm, sārmiem un biežu dezinfekcijas tīrīšanu.

• 100% otrreiz pārstrādājams alumīnija materiāls atbilst zaļajiem zema oglekļa satura standartiem un vides novērtējuma prasībām pusvadītāju materiāliem.

6. Papildu pielāgošana: vizuāla pārbaude un ilgstoša atkārtota izmantošana

Mūsdienu alumīnija grīdas segumu sistēmas piedāvā augstākās kvalitātes uzlabojumus, kas pielāgoti viedajām rūpnīcas prasībām:

• Alumīnija skata loga paneļi:

Kvadrātveida izgriezumi, kas pārklāti ar caurspīdīgu akrila loksni, kas integrēti žalūzijas paneļos, ļaujot vizuāli pārbaudīt zemgrīdas cauruļvadus, nenoņemot paneļus, lai vienkāršotu apkopi.

• Pilna dzīves cikla izmaksu efektivitāte:

Lai gan alumīnija grīdas segumam ir augstākas sākotnējās izmaksas nekā tērauda grīdām (apmēram 2–3 reizes), tās kalpošanas laiks pārsniedz 20 gadus un bez korozijas prasa zemu apkopi. Pilnībā pārstrādājamais materiāls samazina kopējās īpašuma izmaksas (TCO) ilgtermiņa pusvadītāju iekārtu aktīvu turētājiem.

Piecas alumīnija piekļuves grīdas priekšrocības pusvadītāju tīrām telpām

1. Nulles putekļu izliešana un izcila tīrība, lai palielinātu vafeļu ražu

Integrētajiem spiedienliešanas alumīnija paneļiem ir nekapilāri blīvas virsmas. Galvanizētie vai epoksīda pārklājumi ir izturīgi pret nodilumu un lobīšanos, novēršot metāla putekļus un gružus, kas piesārņo darbnīcas gaisu. Atšķirībā no tērauda grīdām, kurām ir nosliece uz rūsas gružiem, un kompozītmateriālu grīdas segumiem, kuriem ir tendence uz virsmas lobīšanos, alumīnija grīdas segums konsekventi saglabā 100./1000. klases tīrās telpas standartus, samazinot daļiņu defektus uz plāksnēm un ievērojami uzlabojot produkcijas ražu. Īpaši stingras izmēru pielaides samazina paneļu šuvju spraugas, lai novērstu putekļus savācošās plaisas; Lai nodrošinātu tīras telpas atbilstību, regulārajai apkopei ir nepieciešama tikai putekļsūcējs bez putekļiem un neitrāla mitrā tīrīšana.

2. Pastāvīga statiskā izkliede novērš elektrostatisko plāksnīšu sabrukšanas risku

Alumīnija substrāts pēc būtības vada elektrību, tādējādi novēršot nepieciešamību pēc īpaši vadošām līmlentēm. Paneļi, pjedestāli un zemējuma režģi veido pilnīgu vadošu ceļu. Statiskais lādiņš izkliedējas no 5000 V uz 0 V mazāk nekā 0,2 sekundēs, ātri izlādējot personāla un aprīkojuma radīto statisko elektrību. Sistēma atbilst SEMI un GB/T36340 pusvadītāju statiskās vadības standartiem, novēršot precizitātes plāksnīšu un testa mikroshēmu elektrostatiskos bojājumus.

3. Zemgrīdas plēnumos ir integrēta gaisa atgriešana un kabeļi, lai optimizētu tīru gaisa plūsmu

Alumīnija piekļuves grīdas seguma zemgrīdas dobums darbojas kā zemgrīdas gaisa padeves un atgriešanas kamera. Saskaņots ar pielāgotiem ventilējamiem paneļiem, tas rada vienmērīgu lamināru gaisa plūsmu, stabilizējot iekštelpu temperatūru un mitrumu, vienlaikus novēršot karstās un aukstās zonas. Dobumā ir paslēpti strāvas kabeļi, vakuuma cauruļvadi un dzesēšanas līnijas bez zemes tranšeju rakšanas. Ražošanas līnijas pārkonfigurācijai vai aprīkojuma modernizācijai nepieciešama tikai daļēja paneļa noņemšana, izmantojot piesūcekņus, tādējādi izvairoties no tīrās telpas grīdas seguma bojājumiem un krasi saīsinot ražošanas dīkstāves laiku remontdarbiem.

4. Mitruma un korozijas izturība samazina ilgtermiņa uzturēšanas izmaksas

Alumīnijs dabiski iztur oksidāciju un rūsu. Augsta mitruma vidē ar vājām kodīgām ķimikālijām, kas rodas pusvadītāju tīrīšanas procesos, tas novērš rūsas izspiedumu un krāsas nolobīšanos, kas raksturīga tērauda grīdām. Tā kalpošanas laiks ir 15–20 gadi, un tai ir nepieciešama tikai vienkārša putekļu sūcēja tīrīšana bez biežas nomaiņas vai atjaunošanas, nodrošinot daudz mazākus ieguldījumus ilgtermiņa uzturēšanā nekā alternatīvi pacelto grīdu materiāli.

Tīras telpas alumīnija grīdas segumu zonas izvēles rokasgrāmata

Atbilstoša konfigurācijas tabula alumīnija piekļuves grīdām pēc tīras telpas funkcionālajām zonām

Jaukta bruģēšanas stratēģija ir ieteicama dažādām pusvadītāju darbnīcu funkcionālajām zonām, pamatojoties uz Huilian oficiālajiem tehniskajiem parametriem:

Tīras telpas alumīnija grīdas segumu regulārās apkopes specifikācijas

1. Ikdienas ķīmiskajai tīrīšanai izmantojiet putekļu sūcējus; birstes ar cietiem sariem ir aizliegtas, lai izvairītos no virsmas skrāpējumiem.

2. Noslaukiet virsmas ar neitrāliem tīras telpas tīrīšanas līdzekļiem; nedrīkst izmantot stipras skābes un sārmus, lai novērstu vadošu pārklājumu koroziju.

3. Noregulējiet grīdas pjedestālus reizi ceturksnī, lai kalibrētu kopējo līdzenumu un novērstu nevienmērīgas paneļa malas.

4. Ik pēc sešiem mēnešiem dziļi notīriet perforētos ventilējamos paneļus, lai novērstu putekļu uzkrāšanos un garantētu netraucētu gaisa cirkulāciju.

5. Nekavējoties noblīvējiet paneļu šuves pēc aprīkojuma atjaunošanas vai cauruļvadu apkopes, lai novērstu daļiņu iekļūšanu zemgrīdas dobumos.

Secinājums

Grīdas seguma sistēmas pusvadītāju tīrajās telpās tieši ietekmē ražošanas ražu, iekārtu drošību un ilgtermiņa ekspluatācijas izmaksas. Alumīnija piekļuves grīdas segums nodrošina īpaši precīzu izmēru kontroli, daudzpakāpju lielas slodzes ietilpību, stabilu bezputekļu statisko izkliedi, izturību pret koroziju un pagarinātu kalpošanas laiku, pilnībā atbilstot stingrajiem 100. klases / 1000. klases mikroelektronikas darbnīcu būvniecības standartiem.

Huilian pilna alumīnija piekļuves grīdas segumu sērija ir izmantota plaši pazīstamos globālos mikroelektronikas projektos, tostarp Nantong Fujitsu, Thailand MCNEX un Malaizija Tongfu Microelectronics, kļūstot par standarta grīdas risinājumu augstākās klases ierīcēm. tīru telpu būvniecība.

Ir iespējama ventilācijas ātruma, virsmas pārklājumu un paneļu izmēru pielāgošana. Mēs piedāvājam vienas pieturas paaugstināto grīdu risinājumus mikroshēmu ražošanai, iesaiņošanai un testēšanai un precīzas elektronikas tīrām telpām, pilnībā apmierinot trešās puses pieņemšanas prasības attiecībā uz tīro telpu būvniecību, vides novērtējumu un statisko kontroli.

Sazinieties ar mums, lai iegūtu pilnīgus būvniecības plānus un precīzus piedāvājumus tīru telpu projektiem.