दृश्य: 0 लेखक: साइट संपादक प्रकाशन समय: 2026-06-24 उत्पत्ति: साइट
सेमीकंडक्टर, चिप पैकेजिंग और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स परिशुद्धता विनिर्माण कार्यशालाएं फर्श की धूल प्रतिरोध, स्थैतिक अपव्यय, भार वहन, वायु प्रवाह संगठन और आयामी सटीकता के लिए कठोर आवश्यकताओं के साथ उच्च श्रेणी के स्वच्छ स्थान हैं। पारंपरिक स्टील और मिश्रित फर्श में जंग लगने, पाउडर गिरने और बड़े आयामी सहनशीलता का खतरा होता है, जो क्लास 100 / क्लास 1000 क्लीनरूम की दीर्घकालिक उत्पादन मांगों को पूरा करने में विफल रहता है। डाई की ढलाई एल्यूमीनियम एक्सेस फ़्लोरिंग में एकीकृत मोल्डिंग तकनीक, अल्ट्रा-टाइट आयामी सहनशीलता, स्थिर प्रवाहकीय स्थैतिक-विघटनकारी प्रदर्शन और शून्य धूल उत्पादन के साथ संक्षारण प्रतिरोध की सुविधा है, जो इसे सेमीकंडक्टर क्लीनरूम, फोटोलिथोग्राफी बे और चिप परीक्षण सुविधाओं के लिए मुख्यधारा फ़्लोरिंग सिस्टम बनाती है।
जैसे पेशेवर निर्माताओं से तकनीकी मापदंडों का संयोजन हुइलियन , यह लेख साफ-सुथरे वातावरण के लिए एल्यूमीनियम एक्सेस फ़्लोरिंग के मुख्य प्रदर्शन, लोड-बेयरिंग मॉडल चयन, अनुप्रयोग मूल्य और व्यावहारिक लाभों पर विस्तार से बताता है।
स्थैतिक बिजली वेफर्स को शॉर्ट-सर्किट कर सकती है और उत्पाद को नष्ट कर सकती है, जबकि प्रसार भट्टियां, लिथोग्राफी मशीनें और निरीक्षण उपकरण पर्याप्त वजन उठाते हैं। फ़्लोरिंग को एक साथ तीन मुख्य आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए: स्थैतिक नियंत्रण, वायु वापसी परिसंचरण और धूल-मुक्त बीयरिंग। उद्योग के चार महत्वपूर्ण मानक नीचे उल्लिखित हैं:
स्थैतिक बिजली चिप्स को शॉर्ट-सर्किट कर सकती है और वेफर्स को ख़राब कर सकती है। इलेक्ट्रोस्टैटिक हस्तक्षेप से मुक्त 24/7 निर्बाध उपकरण संचालन सुनिश्चित करने के लिए फर्श को तेजी से स्थैतिक क्षय के साथ एक स्थिर प्रवाहकीय प्रतिरोध सीमा बनाए रखनी चाहिए।
फर्श पैनलों के बीच अत्यधिक अंतराल धूल जमा करता है और लैमिनर वायु प्रवाह को बाधित करता है। पैनल की लंबाई/चौड़ाई, समतलता और विकर्ण सहनशीलता पर सख्त नियंत्रण धूल-फँसाने वाली दरारों के बिना तंग सीम सुनिश्चित करता है।
लिथोग्राफी उपकरण, जांच स्टेशन और भारी पैकेजिंग उपकरण तीव्र संकेंद्रित बिंदु भार लगाते हैं, जबकि कार्यशाला परिवहन ट्रॉलियां लगातार फर्श पर घूमती रहती हैं। संकेंद्रित भार, समान भार और अंतिम शक्ति रेटिंग को सीमित दीर्घकालिक विक्षेपण के साथ उपकरण भार से मेल खाना चाहिए।
उत्पादन वातावरण में कमजोर एसिड, सफाई एजेंट और उच्च आर्द्रता होती है। फर्श को ऑक्सीकरण, जंग और सतह के घर्षण का प्रतिरोध करना चाहिए, एक गैर-छिद्रपूर्ण सतह नियमित धूल-मुक्त पोंछने और वैक्यूम सफाई के साथ संगत होनी चाहिए।
जब तुलना की गई इस्पात, कैल्शियम सल्फेट और अन्य फर्श सामग्री, एल्यूमीनियम एक्सेस फर्श के भौतिक गुण उपरोक्त दर्द बिंदुओं को पूरी तरह से हल करते हैं।
एल्यूमीनियम फर्श का निर्माण उच्च दबाव वाली एकीकृत डाई-कास्टिंग के माध्यम से किया जाता है, जो स्वाभाविक रूप से घने, गैर-छिद्रपूर्ण सब्सट्रेट का उत्पादन करता है।
• जंग-मुक्त और विकिरण-मुक्त : एल्युमीनियम स्वाभाविक रूप से ऑक्सीकरण का प्रतिरोध करता है। स्टील के फर्श के विपरीत, इसमें कभी जंग नहीं लगती या लोहे के कण संदूषक नहीं निकलते, यह शून्य-प्रदूषण, शून्य-विकिरण सफाई मानकों का अनुपालन करता है।
• बेहतर अग्नि सुरक्षा : क्लास ए1 गैर-दहनशील रेटिंग प्रति जीबी/टी 8624, उच्च तापमान की घटनाओं के तहत उच्च मूल्य वाली उत्पादन लाइनों की सुरक्षा के लिए कोई जहरीला धुआं उत्सर्जित नहीं करता है।
वायु वापसी या आपूर्ति क्षेत्रों के लिए, एल्यूमीनियम फर्श लैमिनर एयरफ्लो को स्थिर करने के लिए कई छिद्रण विकल्प प्रदान करता है:
17%, 22% और 25% की मानक उद्घाटन दरें (10% से 25% तक समायोज्य)। छिद्रपूर्ण संरचना न्यूनतम हवा प्रतिरोध और समान वायु प्रवाह प्रदान करती है, जो अधिकांश तापमान और आर्द्रता-नियंत्रित क्षेत्रों के लिए आदर्श है।
स्लॉटेड ग्रेटिंग सतहों के साथ 50% तक खुलने की दर, उच्च ताप घनत्व वाले उपकरणों जैसे कि लिथोग्राफी मशीनों के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिन्हें मजबूत ताप निकास वेंटिलेशन की आवश्यकता होती है।
उच्च परिशुद्धता कास्टिंग मोल्ड ±0.20 मिमी की समतलता सहनशीलता के साथ 600+0.00 मिमी/600-0.20 मिमी पर पैनल आयामों को नियंत्रित करते हैं। तंग सीम अशांत वायु प्रवाह और धूल संचय को खत्म करते हैं।
क्लीनरूम में लिथोग्राफी उपकरण जैसे भारी बहु-टन उपकरण होते हैं।
ठोस एल्यूमीनियम ब्लाइंड पैनल एल्यूमीनियम एक्सेस फ़्लोरिंग सिस्टम का मूलभूत आधार बनाते हैं। हनीकॉम्ब और ग्रेटेड पैनलों के विपरीत, ठोस ब्लाइंड पैनलों में बिना किसी छिद्र के पूरी तरह से घने डाई-कास्ट एल्यूमीनियम बॉडी होती है। वे भार वहन, धूल दमन, स्थैतिक अपव्यय और स्थानिक विभाजन को प्राथमिकता देते हैं। हुइलियन की एचएलएस श्रृंखला के ब्लाइंड पैनल 6000 किग्रा की अंतिम ताकत और ≤2.0 मिमी तक सीमित विक्षेपण के साथ 3000 किग्रा (एचएलएस 3000) से अधिक का केंद्रित भार प्रदान करते हैं, जो स्थायी विरूपण के बिना भारी मशीनरी का समर्थन करते हैं।
एल्युमीनियम में स्टील का घनत्व केवल 1/3 होता है। कम वजन वाली फर्श प्रणाली बिल्डिंग स्लैब पर संरचनात्मक भार को कम करती है, जिससे यह फैक्ट्री रेट्रोफिट और ऊपरी मंजिल के क्लीनरूम निर्माण के लिए आदर्श बन जाती है।
प्रवाहकीय गास्केट पैनल और पेडस्टल के बीच निरंतर विद्युत संपर्क स्थापित करते हैं। एल्युमीनियम गैर-चुंबकीय है और सटीक चुंबकीय क्षेत्र में हस्तक्षेप नहीं करता है।
ईएसडी प्रवाहकीय पीवीसी या हाई-वियर एचपीएल कवरिंग कई पैटर्न और रंगों में उपलब्ध हैं। पीवीसी कोटिंग्स रासायनिक संक्षारण का प्रतिरोध करती हैं और वर्कशॉप डिटर्जेंट के साथ बार-बार सफाई का सामना करती हैं।
• हवादार पैनलों के लिए कस्टम वेध दरें अंडरफ्लोर वायु आपूर्ति प्लेनम बनाती हैं, जिससे उपकरण को ठंडा करने वाली ऊर्जा खपत को कम करते हुए साफ कमरे के तापमान और आर्द्रता को स्थिर किया जाता है।
• निकल-क्रोमियम इलेक्ट्रोप्लेटिंग और प्रवाहकीय एपॉक्सी कोटिंग्स सहित विशेष सतह उपचार कमजोर एसिड, क्षार और लगातार कीटाणुशोधन सफाई के प्रति प्रतिरोध प्रदान करते हैं।
• 100% पुनर्चक्रण योग्य एल्युमीनियम सामग्री हरित निम्न-कार्बन मानकों और सेमीकंडक्टर फैब्स के लिए पर्यावरणीय मूल्यांकन आवश्यकताओं को पूरा करती है।
आधुनिक एल्यूमीनियम फ़्लोरिंग सिस्टम स्मार्ट फ़ैक्टरी मांगों के अनुरूप प्रीमियम अपग्रेड प्रदान करते हैं:
पारदर्शी ऐक्रेलिक शीट से ढके चौकोर कटआउट को ब्लाइंड पैनलों में एकीकृत किया गया है, जिससे रखरखाव को सरल बनाने के लिए पैनल को हटाए बिना अंडरफ्लोर पाइपलाइनों का दृश्य निरीक्षण सक्षम हो गया है।
जबकि एल्युमीनियम फ़्लोरिंग में स्टील फ़्लोरिंग (लगभग 2-3 गुना) की तुलना में अधिक अग्रिम लागत होती है, यह संक्षारण-मुक्त कम रखरखाव के साथ 20 साल से अधिक की सेवा जीवन का दावा करता है। पूरी तरह से पुनर्चक्रण योग्य सामग्री दीर्घकालिक अर्धचालक सुविधा परिसंपत्ति धारकों के लिए स्वामित्व की कुल लागत (टीसीओ) को कम करती है।
एकीकृत डाई-कास्ट एल्यूमीनियम पैनलों में गैर-केशिका सघन सतहें होती हैं। इलेक्ट्रोप्लेटेड या एपॉक्सी कोटिंग्स घर्षण और पपड़ी का प्रतिरोध करती हैं, कार्यशाला की हवा को दूषित करने वाली धातु की धूल और मलबे को खत्म करती हैं। जंग लगने वाले मलबे वाले स्टील फर्श और सतह के छिलने वाले मिश्रित फर्श के विपरीत, एल्यूमीनियम फर्श लगातार क्लास 100 / क्लास 1000 क्लीनरूम मानकों को बनाए रखता है, वेफर्स पर कण दोषों को कम करता है और उत्पादन उपज में काफी सुधार करता है। अल्ट्रा-टाइट आयामी सहनशीलता धूल-फँसाने वाली दरारों को खत्म करने के लिए पैनल सीम अंतराल को कम करती है; नियमित रखरखाव के लिए क्लीनरूम अनुपालन को बनाए रखने के लिए केवल धूल रहित वैक्यूमिंग और तटस्थ गीले पोंछने की आवश्यकता होती है।
एल्यूमीनियम सब्सट्रेट स्वाभाविक रूप से बिजली का संचालन करता है, जिससे अतिरिक्त प्रवाहकीय चिपकने वाली स्ट्रिप्स की आवश्यकता समाप्त हो जाती है। पैनल, पेडस्टल्स और ग्राउंडिंग ग्रिड एक पूर्ण प्रवाहकीय पथ बनाते हैं। स्थैतिक चार्ज 0.2 सेकंड से कम समय में 5000V से 0V तक समाप्त हो जाता है, जिससे कर्मियों और उपकरणों द्वारा उत्पन्न स्थैतिक का तेजी से निर्वहन होता है। सिस्टम SEMI और GB/T36340 सेमीकंडक्टर स्थैतिक नियंत्रण मानकों का अनुपालन करता है, जो सटीक वेफर्स और परीक्षण चिप्स को इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षति को रोकता है।
एल्युमीनियम एक्सेस फ़्लोरिंग की अंडरफ़्लोर कैविटी अंडरफ़्लोर वायु आपूर्ति और रिटर्न प्लेनम के रूप में कार्य करती है। अनुकूलित हवादार पैनलों के साथ मेल खाते हुए, यह एक समान लैमिनर एयरफ्लो बनाता है, गर्म और ठंडे क्षेत्रों को खत्म करते हुए इनडोर तापमान और आर्द्रता को स्थिर करता है। यह गुहिका बिजली के तारों, वैक्यूम पाइपलाइनों और शीतलन लाइनों को बिना जमीन खोदे छिपा देती है। उत्पादन लाइन के पुनर्विन्यास या उपकरण उन्नयन के लिए केवल सक्शन कप के माध्यम से पैनल को आंशिक रूप से हटाने की आवश्यकता होती है, जिससे साफ-सुथरे कमरे के फर्श को नुकसान से बचाया जा सके और नवीकरण के लिए उत्पादन डाउनटाइम को काफी कम किया जा सके।
एल्युमीनियम स्वाभाविक रूप से ऑक्सीकरण और जंग का प्रतिरोध करता है। अर्धचालक सफाई प्रक्रियाओं से कमजोर संक्षारक रसायनों के साथ उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, यह स्टील फर्श के साथ आम तौर पर जंग लगने और पेंट छीलने से बचाता है। 15-20 वर्षों के सेवा जीवन के साथ, इसमें केवल साधारण वैक्यूम सफाई की आवश्यकता होती है, जिसमें बार-बार प्रतिस्थापन या नवीनीकरण नहीं होता है, जो वैकल्पिक उठाए गए फर्श सामग्री की तुलना में बहुत कम दीर्घकालिक रखरखाव निवेश प्रदान करता है।
हुइलियन के आधिकारिक तकनीकी मापदंडों के आधार पर सेमीकंडक्टर कार्यशालाओं के विभिन्न कार्यात्मक क्षेत्रों के लिए मिश्रित फ़र्श रणनीति की सिफारिश की जाती है:
जोन प्रकार |
अनुशंसित एल्यूमिनियम फ़्लोरिंग प्रकार |
मुख्य पैरामीटर एवं विशेषताएँ |
अनुप्रयोग परिदृश्य |
फोटोलिथोग्राफी/नक़्क़ाशी कोर टूल बेज़ |
ठोस एल्यूमीनियम ब्लाइंड पैनल |
HLS1000-HLS3000 (1000-3000kgf संकेंद्रित भार); ईएसडी पीवीसी सतह कवरिंग |
एक्सपोज़र टूल, आयन इम्प्लांटर्स को अल्ट्रा-हाई लोड बेयरिंग और शून्य धूल की आवश्यकता होती है |
वेफर परीक्षण एवं पैकेजिंग वर्कस्टेशन |
ठोस एल्यूमीनियम ब्लाइंड पैनल |
HLS500-HLS700 (500-700kgf संकेंद्रित भार); पहनने के लिए प्रतिरोधी पीवीसी / एचपीएल कवरिंग |
लगातार पैदल यात्रियों के आवागमन वाली असेंबली लाइनें |
एयर कंडीशनिंग प्लेनम एयर रिटर्न परतें |
एल्यूमिनियम मधुकोश पैनल |
समान वायु प्रवाह के लिए 17%/25% शुरुआती दरें |
सकारात्मक लामिना प्रवाह को बनाए रखने के लिए बड़े क्षेत्र की कार्यशाला में वायु आपूर्ति और वापसी फर्श |
हाई-हीट उपकरण अंडरक्रॉफ्ट |
एल्यूमीनियम कसा हुआ पैनल |
उच्च वेंटिलेशन के लिए 50% अधिकतम उद्घाटन दर |
उच्च-शक्ति पावर कैबिनेट और शुष्क पंपों के नीचे गर्मी का अपव्यय |
विज़िटर वॉकवे और सहायक क्षेत्र |
एपॉक्सी कोटिंग के साथ सॉलिड ब्लाइंड पैनल |
प्रवाहकीय एपॉक्सी कोटिंग या नंगे सब्सट्रेट |
लागत प्रभावी, घर्षण-प्रतिरोधी और साफ करने में आसान |
1. दैनिक ड्राई क्लीनिंग के लिए धूल रहित वैक्यूम क्लीनर का उपयोग करें; सतह को खरोंचने से बचाने के लिए कठोर ब्रिसल वाले ब्रश निषिद्ध हैं।
2. तटस्थ समर्पित क्लीनरूम क्लीनर से सतहों को पोंछें; प्रवाहकीय आवरणों के क्षरण को रोकने के लिए मजबूत एसिड और क्षार का उपयोग नहीं किया जाएगा।
3. समग्र समतलता को जांचने और असमान पैनल किनारों को खत्म करने के लिए फर्श पेडस्टल को त्रैमासिक रूप से समायोजित करें।
4. धूल के संचय को हटाने और निर्बाध वायु परिसंचरण की गारंटी के लिए हर छह महीने में छिद्रित हवादार पैनलों को गहराई से साफ करें।
5. फर्श के नीचे की गुहाओं में कणों की घुसपैठ को रोकने के लिए उपकरण नवीकरण या पाइपलाइन रखरखाव के तुरंत बाद पैनल सीम को सील करें।
सेमीकंडक्टर क्लीनरूम में फ़्लोरिंग सिस्टम सीधे उत्पादन उपज, उपकरण सुरक्षा और दीर्घकालिक परिचालन लागत को प्रभावित करते हैं। एल्युमीनियम एक्सेस फ़्लोरिंग अल्ट्रा-सटीक आयामी नियंत्रण, स्तरीय भारी-भार क्षमता, स्थिर धूल-मुक्त स्थैतिक अपव्यय, संक्षारण प्रतिरोध और विस्तारित सेवा जीवन प्रदान करता है, जो कक्षा 100 / कक्षा 1000 माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स कार्यशालाओं के सख्त निर्माण मानकों को पूरी तरह से पूरा करता है।
हुइलियन की एल्युमीनियम एक्सेस फ़्लोरिंग की पूरी श्रृंखला को नान्चॉन्ग फुजित्सु, थाईलैंड एमसीएनईएक्स और मलेशिया टोंगफू माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स सहित प्रसिद्ध वैश्विक माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स परियोजनाओं में तैनात किया गया है, जो हाई-एंड के लिए मानक फ़्लोर समाधान बन गया है। सफ़ाई कक्ष निर्माण.
वेंटिलेशन दरों, सतह कोटिंग्स और पैनल आयामों का अनुकूलन उपलब्ध है। हम चिप निर्माण, पैकेजिंग और परीक्षण और सटीक इलेक्ट्रॉनिक्स क्लीनरूम के लिए वन-स्टॉप उठाए गए फर्श समाधान प्रदान करते हैं, जो क्लीनरूम निर्माण, पर्यावरण मूल्यांकन और स्थैतिक नियंत्रण के लिए तीसरे पक्ष की स्वीकृति आवश्यकताओं को पूरी तरह से संतुष्ट करते हैं।
क्लीनरूम परियोजनाओं के लिए संपूर्ण निर्माण योजनाएं और सटीक कोटेशन प्राप्त करने के लिए हमसे संपर्क करें।
